NXT-H可以搭载[敏感词]供应12种类晶圆的多晶元单元(MWU12i),以此1台可以贴装复数种类的裸晶片。此外,以在清洁室使用为前提,XY机械手对应清洁化。也能贴装HEPA过滤器,实现了对于半导体元件适合的环境。